1）光散射粒子计数器（用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数）；

2）激光粒子计数器（用于粒径大于或等于0.1μm的悬浮粒子计数）。

1. 必须按照测试仪器的检定周期，定期对测试仪器作检定。应使用检定合格，且在使用有效期内的仪器。

2. 测试仪器在未进入被测区域时，若必需，则先清洁表面，或在相应的洁净室内准备和存放（用保护罩或其他适当地外罩保护仪器）。

3. 在100级洁净室内用纸时，上面应蒙上一张透明不沾尘的覆盖物，在100级洁净室内不能用铅笔和橡皮。

4. 使用测试仪器时应严格按照仪器说明书操作。

4.1 仪器开机，预热至稳定后，方可按测试仪器说明书的规定对仪器进行校正，同时检查采样流量和等动力采样头。

4.2 采样管口置于采样点采样时，在计数趋于稳定后，开始连续读数。

4.3 采样管必须干净，严禁渗漏。

4.4 采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大于1.5m。

4.5 粒子计数器采样口和仪器工作位置宜处在同一气压和温度下，以免产生测量偏差。